
בקרת זרימת אדים מבית Bronkhorst

טכנולוגיית האידוי של Bronkhorst היא מהירה, מדויקת, יעילה ובעלת יכולת חזרה גבוהה.
טכנולוגיית CEM, ראשי תיבות של Controlled Evaporation Mixing, היא טכנולוגיה ייחודית ופטנטית שפותחה לבקרת זרימת אדים מדויקת. מערכת CEM (Controlled Evaporation and Mixing) היא מערכת אספקת נוזלים (LDS) חדשנית שניתן ליישם אותה בתהליכים אטמוספריים או ואקום. מערכת ייצור האדים מורכבת מבקר זרימת נוזלים (תרמי או קוריוליס), בקר MFC לגז נשא ומתקן ערבוב ואידוי מבוקר טמפרטורה. המערכת מתאימה לערבוב זרימות נוזלים של 1-1200 גרם/שעה, וכתוצאה מכך זרימות אדים רוויים של 50 מיליון/דקה עד 100 ליטר/דקה. מערכת מאייד זו יכולה להחליף מבעבעים. הזדמנויות חדשות נוצרות עם מערכת CEM: ניתן לאדות תערובות ואפילו מוצקים המומסים בממסים ניתנים לאידוי מוצלח.
בקרת זרימת אדים
יתרונות ותועלות
-
בקרה מדויקת על תערובת גז/נוזל
-
זמן תגובה מהיר
-
יכולת חזרה (reproducibility) גבוהה
-
זרימת אדים יציבה מאוד
-
בחירה גמישה של יחס הגז/נוזל
-
טמפרטורת עבודה נמוכה יותר בהשוואה למערכות קונבנציונליות
-
אפשרות לבקרה באמצעות PC/PLC (ממשק RS232 או Fieldbus)
ממגוון מוצרי Bronkhorst


יישומים לבקרת אדים
סדרת VDM: מודולים לאספקת אדים
בהתבסס על טכנולוגיית CEM, חברת Bronkhorst תכננה סדרה של מודולים לאספקת אדים (VDM). סדרת ה-VDM כוללת ספק כוח מובנה עם צג (TFT בגודל 1.8 אינץ') ופונקציות בקרה.
-
בקרת טמפרטורה מקומית או מרוחקת לחימום צנרת (אופציונלי)
-
המודול הקומפקטי בתצורת "Plug & Work" מסוגל לייצר זרמי אדים (רוויים) בטווח שבין 100 מ"ל/דקה ל-10 ליטר/דקה.
-
תהליכי הקשיה, ציפוי בשכבות דקות או פלנריזציה
-
בדיקה/כיול של מנתחים באמצעות ריכוזי אדים של גז ייחוס
-
השפעות של גזים רעילים על ביגוד מגן
-
מנתחים הפועלים עם ריכוזי אדי מים (H2O) כייחוס
שיקוע אדים כימי (CVD)

